Nazwa produktu: Cel napylania cyrkonu

Klasa materiału: Zr702 (ASTM B493 klasa R60702)

Stopień czystości: 99,95% (3N5) na bazie metalu- (bez Hf-)

Główne zastosowania: zaawansowane opakowania półprzewodników, powłoki optyczne, tylna elektroda ogniwa słonecznego, mikroelektroniczna warstwa pośrednia (proces PVD)

Normy produkcyjne: Zgodny z ASTM B493/B493M-14 (Specyfikacja dla odkuwek cyrkonu i stopów cyrkonu) i SEMI M13-1102 (Ogólna specyfikacja dla celów napylania)

Teoretyczna gęstość tarczy do napylania cyrkonu wynosi 6,51 g/cm3, jej gęstość jest większa lub równa 99,0%, jej przewodność cieplna wynosi 22,6 W/m·K, a współczynnik rozszerzalności cieplnej (20–300 stopni) wynosi 5,7 × 10⁻⁶ /K. Te parametry to wartości zmierzone dla celów Zr702 o wysokiej-czystości w standardowym stanie wyżarzonym, odpowiednich do zastosowań w procesie rozpylania magnetronowego DC/RF-o dużej mocy i wykazują stabilność termiczną lepszą niż materiały o czystości 99,9%.

Wymagania dotyczące jakości powierzchni produktu i mikrostruktury:

Wielkość ziarna: mniejsza lub równa 50 μm (średnia), mierzona metodą EBSD (dyfrakcja elektronów wstecznych), z odchyleniem standardowym rozkładu wielkości ziaren mniejszym lub równym 15 μm.

Chropowatość powierzchni (Ra): mniejsza lub równa 0,8 μm, mierzona za pomocą profilometru optycznego 3D (ISO 4287), wolna od zadrapań, wgnieceń i wgłębień.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² jest odrzucany.

Mikrostruktura: Jednolita równoosiowa -struktura fazowa. SEM (powiększenie 500×), wolne od porów, wtrąceń i segregacji.

Wszystkie cele są zagęszczane przez prasowanie izostatyczne na gorąco (HIP), aby zapewnić wytrzymałość wiązania na granicach ziaren większą lub równą 180 MPa, spełniającą wymóg braku uszkodzenia rozwarstwiania po co najmniej 500 godzinach ciągłego napylania.

Specyfikacje pakowania i wysyłki tarczy do napylania cyrkonu (zgodne z GHS i IEC):

Opakowanie wewnętrzne: uszczelnione próżniowo (mniejsze lub równe 1×10⁻³ mbar) + wypełnione argonem o wysokiej-czystości (99,999%), zgodnie z ASTM F2095.

Opakowanie zewnętrzne: dwuwarstwowa-odporna na wilgoć-torba z folii aluminiowej + pianka amortyzująca EPE + drewniana skrzynia (zgodna z ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Etykieta ochrony przed wilgocią:-odporna na wilgoć + karta wskaźnika wilgotności (mniejsza lub równa 5% RH), zgodna z normą IEC 60068-2-30.

Karta charakterystyki/SDS: Zgodna z 7. rewizją GHS, zawierająca 16 standardowych sekcji, w tym ryzyko wybuchu pyłu Zr (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Etykieta wysyłkowa: UN 1399 (nie-palny metal stały) + substancje żrące.

Każde pudełko zawiera saszetkę ze środkiem osuszającym (żel krzemionkowy) i rejestrator wilgotności. Kontrola temperatury podczas transportu: 5–30 stopni, wilgotność względna mniejsza lub równa 40%.

Często zadawane pytania

P: Czy możesz przedstawić typowe studia przypadków klientów dotyczące tarczy do napylania cyrkonu?

O: Dziesięciu największych producentów półprzewodników na świecie, w tym TSMC, Samsung Electronics, Intel i SK Hynix, to wszyscy pośredni-użytkownicy końcowi tarcz cyrkonowych. Ich zaawansowane procesy (takie jak węzły poniżej 5 nm) szeroko wykorzystują cele Zr702 w metalowych warstwach barierowych, warstwach pasywacyjnych interfejsu i strukturach wzajemnych, osadzanych przy użyciu sprzętu PVD, takiego jak Applied Materials Endura® i Lam Research Kiyo®. Tarcze cyrkonowe są zatem osadzone jako kluczowe materiały funkcjonalne w procesach masowej produkcji.

Wiodące międzynarodowe firmy produkujące wyświetlacze i fotowoltaikę, takie jak LG Display, Samsung Display i First Solar, wykorzystują tarcze cyrkonowe o wysokiej-czystości do powlekania elektrod panelowych OLED i produkcji tylnej elektrody do ogniw słonecznych CIGS, aby uzyskać osadzanie cienkich warstw metali o niskiej-oporności i wysokiej-stabilności, spełniając wymagania-dużej powierzchni i charakteryzującej się wysoką-jednolitością produkcji.

Wysokiej klasy firmy produkcyjne z branży lotniczej i obronnej-, w tym Lockheed Martin, Boeing i Northrop Grumman, wykorzystują tarcze cyrkonowe do osadzania metodą PVD wysoko-temperaturowych-odpornych na korozję powłok nakładanych na elementy silników, systemy ochrony termicznej i konstrukcje niewidoczne dla radarów. Ich standardy zaopatrzenia są rygorystyczne i wymagają zgodności z certyfikatem AS9100D i identyfikowalnością partii COA.

P: Czy akceptujecie akredytywy bankowe?

Odp.: Tak, akceptujemy akredytywy (L/C) jako metodę płatności za zakupy. Proszę pozostać w kontakcie.

P: Czy tarcze do napylania cyrkonu są ogólnie certyfikowane przez ISO 9001, IATF 16949 i AS9100?

O: Tak, w dziedzinie tarcz do napylania cyrkonu do-zastosowań przemysłowych i zaawansowanych, certyfikaty ISO 9001, IATF 16949 i AS9100D stały się uniwersalnymi i obowiązkowymi standardami wejściowymi.

Popularne Tagi: cel napylania cyrkonu, Chiny producenci, dostawcy, fabryka celu napylania cyrkonu

Tarcza do napylania cyrkonu

Często zadawane pytania